易捷以 Beckhoff 技術打造國際級半導體 AMR 解決方案：從台灣走向全球

易捷系統專注於自主移動機器人（AMR）與自動化物料搬運系統（AMHS），憑藉多年深耕半導體智慧物流領域的專案經驗與技術實力，成功獲得台灣、美國及日本等全球 Tier 1 客戶的肯定。「當我們開始與國際知名半導體企業合作時，設備安全已不再只是加分項目，而是進入市場的基本門檻。」易捷系統台灣區業務營運長 陳天祥表示。尤其在美國市場，客戶對 AMR 的安全要求極為嚴格，設備必須符合 ISO 3691-4 與 ANSI/RIA R15.08 等國際安全標準，並完成完整的功能安全設計與驗證，才能順利導入生產環境。

圖說：易捷台灣區業務營運長陳天祥（右）與自走車部門經理吳楷浚（左）合影

安全規範成為關鍵門檻，TwinSAFE 建立可靠功能安全架構

為滿足 AMR 的高安全需求，易捷系統採用倍福 TwinSAFE 功能安全技術，建構符合國際標準的安全控制架構。透過 Safe Motion 功能，系統可實現 STO（Safe Torque Off）與 SS1（Safe Stop 1）等安全機制：當設備發生異常或緊急狀況時，可立即切斷馬達扭矩輸出；在需要受控停機時，則能依預設曲線減速後停止，有效降低機械衝擊並提升設備運行安全性。

「有時候一個 FOUP 裡的晶圓價值，比 AMR 本身還高。」易捷系統表示，一旦發生碰撞、掉料、定位失誤或異常停機，不僅可能造成高額物料損失，更可能影響整體半導體產線運作。因此，TwinSAFE 所建立的功能安全機制，可降低非預期停機風險，確保高價值晶圓與製程物料搬運的穩定性。

低底盤 AMR 面臨空間挑戰，緊湊型驅動技術突破限制

與美國知名晶圓設計與製造企業合作時，為配合客戶 Tray 盤物料載具的取放高度，要求 AMR 採用低底盤機構設計；同時，設備也需符合 ISO 與 ANSI 等國際安全規範。傳統架構通下，馬達通常需額外配置安全編碼器（Safety Encoder）以實現安全速度監控，這對原本空間有限的 AMR 而言，成為一項設計挑戰。

「因此，我們必須尋找能兼顧功能安全與空間緊湊的方案，而倍福 DC 伺服驅動系統就是最好的選擇。易捷系統台灣區業務營運長 陳天祥表示。AMR 的車載電池主要使用 48V 直流電源，而倍福48V DC 伺服馬達設計非常精巧，且已內建絕對值編碼器，並透過單電纜技術（OCT）將馬達電源與編碼器訊號整合於同一條電纜傳輸，簡化配線並節省安裝空間，符合低底盤 AMR 的機構需求。

圖說：易捷自主移動機器人（AMR）執行 Tray 盤搬運作業

PC-based 控制架構整合 Safe Motion，提升 AMR 開發效率

易捷系統進一步採用 Beckhoff 緊湊型 IPC， 透過單一平台整合運動控制、安全控制、感測器與設備通訊，對於需同時整合導航系統、機器手臂、感測器的半導體 AMR 而言，不僅有效降低系統整合複雜度與空間，同時保留與第三方設備整合的彈性。

「我們也看好 Beckhoff EtherCAT I/O 的模組化優勢。由於半導體客戶對 AMR 的功能需求經常因製程與應用場景而有所不同，模組化 I/O 能減少硬體重新設計與配線負擔，有助於加快系統開發，未來也有望進一步導入在其他 AMR 系統中。 」易捷系統自走車部門經理吳楷浚表示。

圖說：易捷導入 Beckhoff 驅動技術、TwinSAFE 安全控制與 PC-based 控制架構，

成功滿足國際半導體客戶對安全與穩定搬運的要求。

跨國專案背後的在地技術支援

「做海外專案時，最怕的其實不是遇到問題，而是找不到能立即支援的人。」易捷系統台灣區業務營運長 陳天祥表示。易捷深刻感受到全球技術支援的重要性，當終端客戶有緊急技術需求時，Beckhoff 台灣團隊立即跨海協調， 隨後，由Beckhoff 美國團隊前往現場支援，順利排除問題。對易捷系統而言，Beckhoff 不僅提供控制與驅動技術 ，更透過遍布全球的技術服務網絡，成為推動國際專案的重要合作夥伴，讓設備能順利導入世界各地的廠端。

為半導體打造更安全穩定的智慧搬運系統

從低底盤設計、功能安全到控制整合，易捷系統透過 Beckhoff 48 V DC 伺服驅動、TwinSAFE 安全控制與 PC-based 控制架構， 成功滿足國際半導體客戶對安全與穩定搬運的要求。隨著半導體製程持續朝智慧化發展，AMR 所肩負的不只是物料搬運任務，更關係著高價值晶圓與製程物料的安全運輸。未來，易捷系統也將持續結合 Beckhoff 開放式自動化技術，打造兼具功能安全、穩定性與彈性的智慧搬運解決方案。